3 空氣潔凈度等級

　　3.0.1 潔凈室及潔凈區內空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應符合下列規定：

　　1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級應按表3.0.1確定。

　　表3.0.1 潔凈室及潔凈區空氣潔凈度整數等級

　　注：按不同的測量方法，各等級水平的濃度數據的有效數字不應超過3位。

　　2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應按下式計算：

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數，有效位數不超過三位數;

　　N——空氣潔凈度等級，數字不超過9，潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量;

　　D——要求的粒徑(μm);

　　0.1——常數，其量綱為μm。

　　3 當工藝要求粒徑不止一個時，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。

　　4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時可采用U描述符或M描述符補充說明。

　　3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態包括空態、靜態、動態，空氣潔凈度等級所處狀態應與業主協商確定。

　　3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應按本規范附錄A的要求進行。

　　3.0.4 當潔凈室(區)內的產品生產工藝要求控制微生物、化學污染物時，應根據工藝特點對各空氣潔凈度等級規定相應的微生物、化學污染物濃度限值。

　　條文說明

　　3 空氣潔凈度等級

　　3.0.1 本規范修訂過程中，涉及潔凈技術的各有關單位、科技人員和專家們都強烈希望“規范應與國際接軌”，為此，本規范修訂中將空氣潔凈度等級等效采用國際標準《潔凈室及相關被控環境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1，在該標準中列出的空氣潔凈度整數等級(表3.0.1)及其關注的大于或等于要求粒徑的允許濃度有爭議時，可將式(3.0.1)得出的濃度Cn作為標準限值。由于空氣潔凈度等級的分級規定是潔凈廠房設計建造必須遵循的規定，所以本條的第1款～第3款為強制性條文。

　　3.0.4 隨著科學技術的發展，目前在一些高科技產品用潔凈廠房中，不僅要求控制潔凈室(區)內的微粒，還要求控制各類微生物、化學污染物，為此增加了本條規定。